半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路在實(shí)驗(yàn)室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃?xì)庵饕褪怯糜谠嚇尤廴诜纸夂鸵恍┎Ａ髅笾圃欤材苡迷诿簹馍吃　Ｋ氖褂脠?chǎng)所一般是在試驗(yàn)臺(tái)或者實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜中，但是在試驗(yàn)臺(tái)上使用，要保證臺(tái)面耐高溫和設(shè)計(jì)原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃?xì)怏w都具有高危險(xiǎn)性，進(jìn)行氣體管路的設(shè)計(jì)和安裝時(shí)要達(dá)到國(guó)家的要求標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)規(guī)范，非專業(yè)工程師不得隨意改動(dòng)和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發(fā)生。

　　半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的維護(hù)事項(xiàng)：

　　1、對(duì)庫(kù)存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時(shí)間的儀器設(shè)備要定期清潔、查點(diǎn)、進(jìn)行防塵、防銹、防潮等方面的維護(hù)。

　　2、各實(shí)驗(yàn)室必須建立嚴(yán)格的崗位責(zé)任制，系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設(shè)備的特點(diǎn)和要求，制定相應(yīng)的維護(hù)保養(yǎng)措施，并認(rèn)真落實(shí)，使儀器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)做到經(jīng)常化、制度化。

　　3、要加強(qiáng)對(duì)實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員以及學(xué)生的基本操作訓(xùn)練，使他們熟悉儀器設(shè)備性能特點(diǎn)，掌握基本操作方法，避免因操作不當(dāng)或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設(shè)備使用，要嚴(yán)格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路發(fā)生故障的原因：

　　1、外部因素不正常所引起的故障；

　　2、人為的操作使用過程不當(dāng)引起的故障；

　　3、自身內(nèi)部某些元件質(zhì)量缺陷引起的故障。